下载一种面向5G基站的耐压射频器件及其制备方法的技术资料

文档序号:34091928

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本发明涉及一种面向5G基站的耐压射频器件及其制备方法,该器件包括:衬底层;缓冲层,位于衬底层上;沟道层,位于缓冲层上;源极,位于沟道层的一端;漏极,位于沟道层的另一端;插入层,位于沟道层上,且位于源极和漏极之间;势垒层,位于插入层上;其中,...
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