下载剥离装置以及剥离装置的剥离方法的技术资料

文档序号:34091206

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一种剥离装置,包括:剥离水槽,装有第一溶液;支承部,配置在剥离水槽中,并被配置包括向第一方向延伸的基底层以及与基底层结合的膜的叠层物;以及吸附装置,吸附基底层而从膜剥离,吸附装置包括:吸附部,吸附基底层;以及移动部,与吸附部结合而使吸附部移...
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