下载一种单晶硅料脱胶喷淋装置的技术资料

文档序号:34082121

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本实用新型公开了一种单晶硅料脱胶喷淋装置,包括喷淋箱;喷淋箱的顶面设置有自动箱门组件;喷淋箱内的两侧对称的设置有摆动式自动喷淋组件;喷淋箱内的底部设置有废渣收集组件;喷淋箱内的底部位于废渣收集组件的上方设置有料框架。本实用新型的喷淋装置可实...
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