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膜体声学谐振器及其制造方法。一种膜体声学谐振器包括：形成在一基板的主表面上的一压电薄膜；以及一下电极和一上电极，其被布置得夹着所述压电薄膜。在该膜体声学谐振器中，所述压电薄膜由氮化铝制成，并且所述上电极和所述下电极中的至少一个包含一钌或钌合...
该专利属于富士通媒体部品株式会社;富士通株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过富士通媒体部品株式会社;富士通株式会社授权不得商用。

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