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本实用新型属于真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种旋转磁场导向沉积镀膜的真空弧磁过滤装置，包括过滤管道，所述过滤管道上设有线圈模组，所述过滤管道接近出口端处设置有旋转磁场发生装置，所述旋转磁场发生装置用于在过滤管道接近出口端的内腔区域形成可调...
该专利属于苏州艾钛科纳米科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州艾钛科纳米科技有限公司授权不得商用。

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