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本申请提供一种电控箱及气体输送系统，其中，电控箱用于控制气体输送柜，所述电控箱包括：箱体；设置于所述箱体内部的信号采集部件；设置于所述箱体上的多个多孔接头，所述气体输送柜上的信号传输组件通过所述多个多孔接头穿入所述箱体内部，且与所述信号采集...
该专利属于江苏正帆半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏正帆半导体设备有限公司授权不得商用。

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