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本发明涉及集成硅基Y波导，具体是一种大带宽、低损耗的集成硅基Y波导。本发明解决了现有集成硅基Y波导带宽小、损耗高、加工误差敏感度高的问题。一种大带宽、低损耗的集成硅基Y波导，包括呈横向设置的主直波导段；主直波导段的右端延伸设置有左窄右宽的锥...
该专利属于中北大学所有，仅供学习研究参考，未经过中北大学授权不得商用。

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