下载玻璃基板旋转换向装置及玻璃基板研磨系统的技术资料

文档序号:34026165

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本公开涉及一种玻璃基板旋转换向装置及玻璃基板研磨系统,该玻璃基板旋转换向装置包括放置台、升降机构、旋转驱动机构、第一传动机构以及旋转检测机构;放置台用于放置玻璃基板;升降机构的升降杆与放置台连接并用于驱动放置台上升或下降;旋转驱动机构通过第...
该专利属于山西光兴光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山西光兴光电科技有限公司授权不得商用。

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