下载一种芯片封装多参数检测设备以及检测方法的技术资料

文档序号:34011865

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本申请提供一种芯片封装多参数检测设备,包括检测台,检测台设置有检测位,检测位用于放置芯片;压力检测组件,压力检测组件包括调压器、压力罩以及压力传感器;压力传感器设置于容纳腔内,用于检测容纳腔内的压力值;温度检测组件,温度检测组件包括加热装置...
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