下载一种带有锥形反射顶面的多模非圆柱谐振腔MPCVD装置的技术资料

文档序号:34009260

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种带有锥形反射顶面的多模非圆柱谐振腔MPCVD装置,解决现有谐振腔结构限制金刚石合成功率低、生长速度慢的技术问题。本实用新型包括用于微波发射的微波发生装置,以及与微波发生装置相连接用于金刚石合成的生长腔体;生长腔体内设有环...
该专利属于成都稳正科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都稳正科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。