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一种带有锥形反射顶面的多模非圆柱谐振腔MPCVD装置制造方法及图纸
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下载一种带有锥形反射顶面的多模非圆柱谐振腔MPCVD装置的技术资料
文档序号:34009260
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本实用新型公开了一种带有锥形反射顶面的多模非圆柱谐振腔MPCVD装置,解决现有谐振腔结构限制金刚石合成功率低、生长速度慢的技术问题。本实用新型包括用于微波发射的微波发生装置,以及与微波发生装置相连接用于金刚石合成的生长腔体;生长腔体内设有环...
该专利属于成都稳正科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都稳正科技有限公司授权不得商用。
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