温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及一种气敏传感器基底及其制备方法和应用,所述气敏传感器基底包括依次层叠设置的光源层、半导体衬底层以及气敏传感材料层。本发明在气敏传感器基底中引入原位光源层,实现气敏传感器的原位增强,使传感器在低温下同样具有较高的灵敏度,稳定性高,重...该专利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及一种气敏传感器基底及其制备方法和应用,所述气敏传感器基底包括依次层叠设置的光源层、半导体衬底层以及气敏传感材料层。本发明在气敏传感器基底中引入原位光源层,实现气敏传感器的原位增强,使传感器在低温下同样具有较高的灵敏度,稳定性高,重...