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本发明提供一种调焦调平检测装置，包括光源模块、照明单元、投影单元和探测单元，投影单元包括投影狭缝；光源模块发出的光经照明单元调制后入射到投影单元的投影狭缝，投影单元将投影狭缝的光斑成像至基板上，经基板反射后，进入探测单元；照明单元包括微光学...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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