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本发明提供的光刻机、运动台定位测量系统及其工作方法，通过在运动台定位测量系统内设置吹排装置，所述吹排装置安装在所述运动台上读头区域，随运动台移动，所述吹排装置用于向平面光栅表面吹淋离子气体去除光栅表面静电，减少因静电而吸附的颗粒物，保持光栅...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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