下载一种无铱区熔法氧化镓晶体的生长装置及生长方法的技术资料

文档序号:33993663

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种无铱区熔法氧化镓晶体的生长装置及生长方法。本发明中提及的无铱区熔法属于熔体法生长单晶的方法,不使用贵金属作为发热源,通过外部的发热体发热,热量通过高透过率、高导热性能材料做成的气氛隔离装置,将固体氧化镓多晶料棒或者陶瓷棒加热...
该专利属于浙江大学杭州国际科创中心所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学杭州国际科创中心授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。