下载多晶硅生产系统热能的梯级利用系统的技术资料

文档序号:33991674

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本发明公开了多晶硅生产系统热能的梯级利用系统,包括依次连接的还原炉、一次闪蒸罐和二次闪蒸罐,所述一次闪蒸罐的进水口连接还原炉的炉筒出水口,一次闪蒸罐设0.6Mpa蒸汽出口,一次闪蒸罐的出水口连接二次闪蒸罐的进水口,二次闪蒸罐上设0.4Mpa...
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