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本发明公开了一种薄膜沉积与连续膜生长监测一体化样品台装置及监测方法，包括两组适配旗形样品托的样品卡槽组件；衬底加热及控温组件、蒸发源加热及控温组件；用于原位电学监测的电极加热及控温组件；含电极旗形样品托和微型蒸发源组件。该装置在超高真空腔体...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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