下载基于激光双反馈自混合干涉的微位移测量方法和系统的技术资料

文档序号:33956422

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本发明公开了一种基于激光双反馈自混合干涉的微位移测量方法,在双反馈自混合干涉的基础上,信号处理模块采集到双反馈自混合干涉信号并转变为电压信号,计算机软件计算出该双反馈干涉信号的振幅将其作为基准功率(p1),信号处理模块采集到因位移物体的微位...
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