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本实用新型提供了一种反射单元及高功率激光系统。反射单元具有设置在反射镜背面的冷却结构，该冷却结构包括冷却腔，并且冷却腔中设置有多个流体流道，不仅可以确保其冷却效果，并且还能够有效缓解反射镜受到的流体压力，改善反射镜所产生的形变。在将本实用新...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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