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一种去除硅料表面氧化层的方法技术
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文档序号:33924849
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本发明公开了一种去除硅料表面氧化层的方法,配制清洗溶液,并搅拌均匀,将硅料完全置于清洗溶液中浸泡,取出,擦拭,清洗,烘干,本发明采用清洗溶液对硅料进行浸泡,通过优化清洗溶液的配方及配比,去除表面氧化层,耗酸量低,对操作人员技能要求低,操作便...
该专利属于乌海市晶易硅材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过乌海市晶易硅材料有限公司授权不得商用。
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