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本发明公开了用于光刻机的数字可调双环电机控制器及其数字调节方法，其特征在于，还包括与双环电路连接的数字调节部分，数字调节部分与双环中的各增益参数和积分参数控制连接，以使所述电流环和速度环的增益参数、积分参数和反馈增益数字调节，其中增益参数和...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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