下载一种液料滚涂方法的技术资料

文档序号:33922376

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本发明公开了一种液料滚涂方法,采用涂液辊对硅片滚涂液料,采用带液辊控制涂液辊的带液厚度;且在涂液辊和/或带液辊的两端设置挡液结构,通过挡液结构阻挡液料从涂液辊和带液辊的两端流出。本发明的液料滚涂方法,其能阻挡液料从涂液辊和带液辊的两端流出,...
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