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本发明公开了一种COF卷盘洗净装置,包括清洗箱,所述清洗箱上分布有清洗腔,所述清洗腔上设有腔门,所述腔门上安装有玻璃罩,所述清洗腔内部设有定位柱、水管、定位盘和烘干口,所述定位柱固定于清洗腔的两侧内壁上,所述定位柱上嵌套有限位环套,所述水管...该专利属于江苏科沛达半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏科沛达半导体科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种COF卷盘洗净装置,包括清洗箱,所述清洗箱上分布有清洗腔,所述清洗腔上设有腔门,所述腔门上安装有玻璃罩,所述清洗腔内部设有定位柱、水管、定位盘和烘干口,所述定位柱固定于清洗腔的两侧内壁上,所述定位柱上嵌套有限位环套,所述水管...