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本实用新型实施例公开了一种晶圆抛光机构，包括基座、抛光电机、压紧气缸，抛光电机和压紧气缸同轴相向竖直设置于基座上，抛光电机的输出轴上设有下夹盘，压紧气缸的活塞杆上设有压紧轴，压紧轴底端对应设有上夹盘，所述抛光机构还包括第一XZ轴伺服丝杆驱动...
该专利属于深圳赛贝尔自动化设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳赛贝尔自动化设备有限公司授权不得商用。

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