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一种微单元阵列和双边极板耦合空心阴极气相沉积装置与方法，属于半导体材料制备领域。具体包括极板一、极板二、极板三、进气口、抽气口、排气口、冷却水口、底座以及各极板对应的电源，其中极板一与电源一、极板二与电源二、极板三与电源三的负极连接，所有电...
该专利属于北京科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京科技大学授权不得商用。

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