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压电致动器具有振动板，该振动板具有在纵向振动模式和弯曲振动模式下振动的板状压电元件。在振动板的面上配置检测纵向振动模式下振动用的第一电极和检测弯曲振动模式下振动振幅用的第二电极。在由驱动信号驱动压电致动器时，检测从第一电极输出的第一检测信号...
该专利属于精工爱普生株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。

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