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本实用新型公开了波导缝隙式微波等离子体源，属于微波技术领域，包括矩形波导、透微波板和盖板；矩形波导前端设有微波馈入口，底部设有若干个缝隙；微波馈入口用于向矩形波导内输入微波，并从若干个缝隙输出；若干个缝隙下方设有透微波板；透微波板设在盖板上...
该专利属于成都奋羽电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都奋羽电子科技有限公司授权不得商用。

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