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本公开提供了一种中阶梯光栅衍射效率测试装置，包括：激光光源模块，测试模块，探测模块，其中，测试模块包括分光器、准直镜、聚焦镜和转台，测试光束被分光器分为第一光束和第二光束，第一光束经过准直镜变为准直光入射至待测中阶梯光栅或待测平面镜，反射回...
该专利属于北京科益虹源光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京科益虹源光电技术有限公司授权不得商用。

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