下载一种基于裂片技术的单向沟槽晶圆切割设备及其操作方法的技术资料

文档序号:33862024

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本发明公开了一种基于裂片技术的单向沟槽晶圆切割设备,包括底仓,所述底仓的顶部辅仓,所述底仓的底壁内侧安装有收集框,所述底仓的正面内壁安装有波纹筒,所述波纹筒的底部安装有推块,所述波纹筒的顶部安装有顶仓,所述顶仓的底部贯穿安装有二级电动杆,所...
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