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改良的基板承载盘制造技术
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文档序号:33858279
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本实用新型是一种改良的基板承载盘,指载盘周缘的第一套合凹部及托盘周缘的第二套合凹部的至少其中之一设有多只各自所属的第一肋杆和第二肋杆,所述第一肋杆两端连接着该第一套合凹部两侧,所述第二肋杆两端连接着该第二套合凹部两侧,所述第一肋杆和所述第二...
该专利属于廖茂钧所有,仅供学习研究参考,未经过廖茂钧授权不得商用。
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