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本发明公开了一种制备纯相Si2N2O粉体的系统及方法，利用硅源气、氮源气和氧源气混合反应一步制备含氧硅胺前驱体和卤化铵的混合物，后续在流化床中进行副产物脱除和热分解得到纯相Si2N2O粉体。本发明不仅解决了传统工艺难以获得高分散、高球形度及...
该专利属于中国科学院过程工程研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院过程工程研究所授权不得商用。

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