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工件分离装置及工件分离方法制造方法及图纸
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文档序号:33845601
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本发明提供一种工件分离装置及工件分离方法,所述工件分离装置对层叠体的整体均匀地照射点状的激光,从而有效地从工件剥离支承体。本发明的工件分离装置的特征在于,具备:保持部件,装卸自如地保持工件和支承体中的任一方;激光照射部,透过保持在保持部件上...
该专利属于信越工程株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过信越工程株式会社授权不得商用。
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