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一种OLED材料蒸镀坩埚装置制造方法及图纸
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文档序号:33808766
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本实用新型公开了一种OLED材料蒸镀坩埚装置,可调控的磁场结构设置于外坩埚的正下方,所述内坩埚和磁铁滑动机构设置于外坩埚内部,所述内坩埚在外坩埚的滑轨上进行上下运动,所述耐高温滚珠设置于内坩埚的外壁;所述磁铁滑动机构位于内坩埚的正下方,所述...
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