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单光子雪崩二极管制造技术
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文档序号:33808547
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本实用新型提供一种单光子雪崩二极管,包括N型半导体井层、P型半导体井层以及P型侧掺杂层。P型半导体井层配置于N型半导体井层上。P型侧掺杂层配置于N型半导体井层与P型半导体井层之间。P型侧掺杂层的深度小于P型半导体井层的深度。P型侧掺杂层的P...
该专利属于神盾股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过神盾股份有限公司授权不得商用。
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