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本申请属于校准检测技术领域，具体涉及一种定容正压漏孔校准装置及其测试方法。本发明提供了一种定容正压漏孔校准装置，包括测量端、参考端，所述测量端和参考端为形状尺寸完全相同的气体管路，所述测量端和参考端之间设置有测量二者之间压差的电容薄膜规。本...
该专利属于上海东贝真空设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海东贝真空设备有限公司授权不得商用。

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