温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种基板输送设备的基板持承装置，包括多个持承构件及导引构件，各个该持承构件被设置为在持承位置与释放位置之间位移而持承基板或是解除对于该基板的持承，该导引构件被设置为使该持承构件进入持承状态切换区域时，切换至该持承位置或是该释放位置，以控制对...
该专利属于群翊工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过群翊工业股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。