下载磁悬浮平面马达的应用结构的技术资料

文档序号:33797146

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本实用新型公开一种磁悬浮平面马达的应用结构,包括有机架、磁悬浮平面马达、运动载具、放置载具以及机械手;该机架上具有工作台;该磁悬浮平面马达包括有定子和动子,该定子设置于工作台上,该动子设置于定子上;该运动载具固定在动子上,该放置载具设置于工...
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