下载基板进料装置的技术资料

文档序号:33788194

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本申请提供了一种基板进料装置,包括:台架;载料移动单元,用于定位支撑基板,并传送出定位后的基板;推料机构,用于将基板推送定位至载料移动单元;载料移动单元安装于台架上,推料机构安装于台架上。本申请基板进料装置,通过设置载料移动单元,以便定位支...
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