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本发明涉及清洗液生产技术领域，具体涉及一种晶圆片加工清洗液、生产方法及设备；包括制备罐和冷却箱，冷却箱包括箱体、换热器和风冷器，风冷器包括风机、冷风管、出风板和单向阀，将清洗液组成原料依次导入制备罐内混合加热制备混合液，混合液导入箱体后，通...
该专利属于镌致实业（重庆）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过镌致实业（重庆）有限公司授权不得商用。

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