温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种基于剪切散斑干涉的小型工件内部缺陷检测装置，装置包括壳体、热加载机构、剪切散斑干涉检测机构、真空加载机构、吸盘式抓取机构、缺陷标记机构、传输机构和检测工作台，热加载机构和剪切散斑干涉检测机构设在壳体内的顶部，真空加载机构...
该专利属于桂林电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过桂林电子科技大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。