下载一种三轴霍尔角度传感器的技术资料

文档序号:33772241

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本发明公开了一种三轴霍尔角度传感器,涉及微电子学与固体电子学领域。本发明三接触四霍尔结构具有旋转对称性,将同一方向垂直霍尔器件正交耦合连接能有效消除失调,并且能增大测量水平方向磁场的绝对灵敏度。放置在中间的四个完全一样的霍尔器件通过正交耦合...
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