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本发明涉及一种用于对具有未知材料的平的物体(20)的物体表面(40)进行轮廓测量的方法和装置(2)，该装置包括：光学干涉测量系统(4)；椭圆偏振测量系统(5)；用于将光源(111)的光束分裂成干涉测量光束(410)和椭圆偏振光束(420)的...
该专利属于森特电子计量有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过森特电子计量有限公司授权不得商用。

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