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本发明提供一种表面分析装置，能够避免在自动地对散布图上的点进行聚类时检测到伪簇，从而提高聚类的精度。本发明所涉及的表面分析装置的一个方式具备：测定部(1
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该专利属于株式会社岛津制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社岛津制作所授权不得商用。

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