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本实用新型公开了一种氢封仓废气的回收再利用装置,涉及废气回收利用技术领域,本实用新型包括缸体,缸体的一侧设有氢封仓,氢封仓的上方设有进气管,氢封仓的下方设有通气管,通气管的一侧设有废气处理组件;废气处理组件包括喷淋箱。本实用新型为一种氢封仓...该专利属于青海丽豪半导体材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青海丽豪半导体材料有限公司授权不得商用。
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