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结构化超导带单光子探测器制造技术
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文档序号:33734110
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本发明公开了结构化超导带单光子探测器;本发明通过结构调控增加超导带对光子响应灵敏度,降低了常规超导单光子探测器对超导带宽度的要求,从而可实现高灵敏单光子探测,并具有探测面积大、速度快、制备简单,易于扩展到大规模阵列结构等特点。该单光子探测器...
该专利属于南京大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京大学授权不得商用。
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