下载一种分子泵的冷却结构的技术资料

文档序号:33729313

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本实用新型涉及分子泵技术领域,具体涉及一种分子泵的冷却结构,所述分子泵包括依上轴承座、泵体以及下轴承座,所述上轴承座连接在泵体上,所述泵体套设在下轴承座上,所述冷却结构包括密封水套;所述密封水套套设在上轴承座外表面上,所述上轴承座与密封水套...
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