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基于光子晶体材料异质结构的快光波导器件制造技术
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下载基于光子晶体材料异质结构的快光波导器件的技术资料
文档序号:33729135
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本实用新型公开了一种基于光子晶体材料异质结构的快光波导器件,包括芯层以及设于芯层上下两侧结构对称的包层,芯层包括多个规律性排列的第一光子晶体,包层包括多个规律性排列的第二光子晶体,第一光子晶体包括硅基板和环形空气柱,第二光子晶体包括硅基板和...
该专利属于华侨大学所有,仅供学习研究参考,未经过华侨大学授权不得商用。
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