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一种磁阻式二维扫描运动装置制造方法及图纸
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下载一种磁阻式二维扫描运动装置的技术资料
文档序号:33728540
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本发明公开了一种磁阻式二维扫描运动装置。其包括第一运动框架和第二运动框架,两个运动框架均包括动子、定子、多个线圈和导向及负刚度补偿机构,其中定子包含多种导磁体,动子包含多个导磁体和若干磁钢,磁钢设在动子的两个导磁体之间,线圈绕在动子或定子的...
该专利属于复旦大学所有,仅供学习研究参考,未经过复旦大学授权不得商用。
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