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文档序号:33725368

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通过使向净化对象室供给的过氧化氢雾进一步细微化并分散/扩散而利用对于净化对象室的适量的过氧化氢雾的供给来实现完美的净化效果,并且缩短通风等的作业时间来实现净化作业的效率化。净化系统具备雾产生单元、雾放出口和雾分散/扩散单元。雾产生单元使净化...
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