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热辅助磁记录介质用溅射靶制造技术
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下载热辅助磁记录介质用溅射靶的技术资料
文档序号:33725119
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本发明提供用于成膜出使构成单轴磁各向异性提高、热稳定性和SNR(信噪比)提高的热辅助磁记录介质的FePt磁性粒子被氧化物孤立的粒状结构磁性薄膜的溅射靶。一种热辅助磁记录介质用溅射靶,其是以FePt合金和非磁性材料为主要成分的热辅助磁记录介质...
该专利属于国立大学法人东北大学所有,仅供学习研究参考,未经过国立大学法人东北大学授权不得商用。
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