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本实用新型公开了氧化铍陶瓷基片的匣钵结构，包括换热器以及匣钵架，所述换热器设置有两个气体入口以及两个气体出口，两个所述气体入口分别连接有空气入管以及毒气出管，两个所述气体出口分别连接有净气入管以及废气出管，所述废气出管的另一端固定连接有废气...
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